FAIMS电源低功耗小型化及其优化研究

来源：电子测量技术杂志2021年第7期北京时间：

作者：钟伦超，石文艳，周金力，游占华，龚涛

单位：1 清华大学深圳国际研究生院 深圳 518055 2 中国石油集团测井有限公司技术中心 西安 710077 3 深圳职业技术学院智能制造技术研究院 深圳 518055

摘要：FAIMS系统中最基础的部分为高场非对称射频电源，它提供电压差让离子在迁移区中实现有效的分离。本文通过半桥逆变的原理产生RF方波，设计一种三桥臂的方波产生电路，减小了通过高压直流电源的电流，从而有效减小了系统的功率。考虑FAIMS芯片的复杂性和仪器的便携性，改进差分式射频工作模式，有效降低了FAIMS对高压直流电源的输入要求，有利于高压直流电源的简化和功耗的降低，进而有利于FAIMS的小型化应用。结合补偿电压自动扫描，研制出优化后的高场非对称方波射频电源，通过实验对比，满足FAIMS迁移区的工作要求。

关键词：FAIMS;高场非对称射频电源;脉冲变压器;半桥逆变;补偿电压

基金资助：深圳市科技计划基础研究自由探索项目（JCYJ20180306174135470）