一种高精度气体流量控制算法设计

来源：电子测量技术杂志2021年第7期北京时间：

作者：岳 彬

单位：北京航空工程技术研究中心 北京 100076

摘要：目前所使用的质量流量控制器普遍存在响应的滞后性，从而到导致质量流量控制器控制出现滞后控制，导致油气浓度检测报警系统检定校准装置因配制气体浓度不精确而校准失败。针对油气浓度检测报警系统检定校准装置因所控气体流量变化慢而导致配制气体浓度不精确的问题，本文设计一种基于一阶加纯滞后模型的质量流量控制器的油气浓度检测报警系统检定校准装置,在原有质量流量控制器的模型中加入控制滞后补偿控制器，其作用是使得气体的控制摆脱滞后性的干扰，使其可以快速并稳定的达到指定的精度。我们先使用Simulink仿真对一阶加纯滞后模型的质量流量控制器进行仿真来验证其功能性以及性能，结果为流量误差为0.89%。最终，我们将设计的一阶加纯滞后模型的质量流量控制器用于实际测试，测得流量误差为0.56%。结果表明基于一阶加纯滞后模型的质量流量控制器可以减小控制滞后性带来的影响。

关键词：油气浓度检测报警系统检定校准装置 质量流量控制器 响应迟滞 一阶加纯滞后模型

基金资助：国防基金资助项目(CX214J018)