基于支持向量机的半导体生产线动态调度方法
来源：计算机集成制造系统杂志2015年第3期北京时间：
作者：马玉敏,乔非,陈曦,田阔,伍星浩
单位：同济大学CIMS研究中心
摘要：为了快速合理地选择调度策略,研究了一种半导体生产线动态调度策略选择方法。该方法以历史数据为基础,选取支持向量机为数据挖掘工具,采用二进制粒子群优化算法对生产属性(特征)子集进行寻优,获得基于支持向量机的动态调度策略分类模型。对于任意给定的生产状态,通过该模型,能实时地获取当前生产状态下近似最优的调度策略。在调度策略评价中,选用了基于功效函数与熵权法的多目标评价方法,以扩展该方法的应用范围。在某实际硅片生产线上验证了所提动态调度方法的有效性。
关键词：动态调度,特征选择,二进制粒子群优化算法,支持向量机
基金资助：国家自然科学基金资助项目(61034004,61273046;上海市自然科学基金资助项目(11ZR1440400)。
