真空

《真空》(双月刊)是中国真空界主要杂志之一。自1964年创刊，真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。

《真空》近年又首批入编“中国学术期刊光盘版”。由于本刊特色。30多年来在我国真空界享有盛名，颇受广大读者欢迎。为我国真空业界首选技术刊物。发行全国24个省市、自治区，并与境内外多种刊物交换收存。

本刊特邀、专家聚焦、创新产品、太阳能利用、经验介绍、真空技术及应用系列讲座。

　　近红外区高透射率In2O3：W透明导电氧化物薄膜的研究 　　离子束后处理对TiO2薄膜光学性质影响的实验研究 　　真空电弧镀沉积高温防护涂层技术 　　LaB6薄膜的制备工艺研究 　　低温多晶硅薄膜的制备工艺研究 　　金属铝离子注入掺杂制备氧化锌铝薄膜的研究 　　热丝CVD制备微晶硅薄膜的研究 　　类金刚石膜的性能、制备与应用 　　磁控溅射TiAlNO薄膜的结构与力学性能 　　直流磁控溅射制备TiNxOy薄膜的性能研究 　　掺氮类金刚石薄膜的制备及其结构表征 　　室温直流磁控溅射制备ITO膜及光电性能研究 　　可编程序控制器在卷绕式镀膜机中的应用 　　基于变压法的变压器真空干燥设备的监控系统设计 　　第十六讲 真空系统的操作与维护 　　前苏联高真空扩散泵统一系列工作的回顾 　　涡旋真空泵应力与变形的ANSYS模拟与研究 　　圆弧包络线在罗茨转子型线设计中的应用

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