毫秒脉冲激光损伤CCD探测器的实验研究

来源：激光技术杂志2017年第5期北京时间：

作者：赵洋, 金光勇, 李明欣, 张巍, 王頔

摘要：为了研究行间转移型彩色面阵CCD在毫秒脉冲激光辐照下的损伤效果，采用实验研究的方法，测量了不同能量密度的激光作用下，CCD表面中心点温度、受损区域面积、深度及CCD内部复位时钟信号和阻抗值的变化，结合CCD输出图像中出现不可恢复的焦斑及黑白雪花现象，对彩色面阵CCD在毫秒脉冲激光作用下的损伤效果进行了分析。结果表明，在毫秒脉冲激光的辐照作用下，行间转移型彩色面阵CCD内部结构会产生不同程度的烧蚀，当能量密度达到23.49J/cm2时，烧蚀深度直达基底层，致使CCD内部信号传输通道断开，漏电流增加，最终造成CCD无信号输出，完全损坏。该研究对CCD探测器在强激光作用下的损伤效果研究是有帮助的。

关键词：激光物理, 形貌损伤, 热应力, CCD, 毫秒脉冲激光