准分子激光器中张氏面型电极的电场仿真研究
来源：激光技术杂志2017年第5期北京时间：
作者：朱能伟, 方晓东, 梁勖, 赵读亮
摘要：为了获得准分子激光器高脉冲能量输出，采用张氏面型电极的理论，设计了一套能产生大面积均匀电场的紧凑型电极。通过ANSYS软件数值仿真获得了电极表面电场分布，并与紧凑型张氏面型电极的理论计算结果进行了对比验证；分析了紫外火花预电离结构对电极放电的影响，并进行了电位和电场分布仿真。结果表明，预电离板的存在直接影响了电极之间的电位和电场分布；电场仿真结果解释了预电离板的顶端与阳极形成放电的原因。该研究为大面积辉光放电电极设计提供了更深入的理论支持。
关键词：光学器件, 激光器, 电场分布, 数值仿真, 紧凑型张氏面型电极
