基于COMSOL的电容成像传感器仿真研究

来源：电子测量技术杂志2017年第9期北京时间：

作者：李振

单位：中国石油大学(华东)海洋油气装备与安全技术研究中心 青岛 266580

摘要：针对电容成像传感器仿真分析的难点，以8极板电容成像传感器为例，建立了电容成像传感器的三维有限元仿真数学模型，详细介绍了如何使用COMSOL软件对电容成像传感器进行三维仿真，后处理结果表明8极板电容成像传感器能检测到有机玻璃内部7个不同深度的缺陷，验证了电容成像检测技术的可行性。除此之外还运用COMSOL对8极板电容成像传感器的电容值进行提取分析，并与实验结果相对比,结果表明两者的检测结果相吻合。此方法方便了电容成像检测技术正问题的研究，为运用COMSOL软件对电容成像传感器的性能分析与参数优化提供了依据。

关键词：有限元;电容成像传感器; COMSOL; 仿真; 无损检测