InP基PIN开关二极管结构设计与制备

来源：电子测量技术杂志2017年第11期北京时间：

作者：赵艺丹

单位：1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所 上海 200050; 2.上海科技大学 上海 201210

摘要：开关二极管是微波控制电路中的一种应用最普遍的控制器件，它可以实现近似短路和开路的功能。Ｉ层厚度对PIN二极管的器件特性具有重要的影响。利用Silvaco TCAD软件对InP基PIN开关二极管器件结构进行建模仿真，分析不同I区厚度对二极管的电流电压特性的影响，得出最优值。利用化合物半导体材料外延与器件工艺平台，制备出InP基PIN开关二极管器件，直流特性测试结果表明，PIN开关二极管的开启电压为0.525 V，反向击穿电压大于12 V。为进一步实现毫米波开关电路奠定了基础。

关键词：PIN; 开关二极管; InP; IV特性; 物理模型