三维微组装多气体传感器测试仪

来源：电子测量技术杂志2021年第22期北京时间：

作者：李张倩，张锐浩，马银鸿，洪应平，张会新

单位：1.中北大学电子测试技术国家重点实验室 太原 030051;2.仪器科学与动态测试教育部重点实验室 太原 03005

摘要：本文针对在地震等自然灾害及遮蔽空间范围传感器体积受限制和对周围环境参数感知问题，设计了三维微组装多气体传感器测试仪，结合设计的GPSO-BP算法，该测试仪可以在高温高湿的环境下实现实时对有毒气体浓度以及压力的多参数测量，并对其进行温湿度补偿，具有高性能、小型化、准确度高的特点。测试结果表明，在湿度为80%RH，温度为50℃的环境下测量不同气体，经过温湿度补偿后，该测试仪的准确对度至少提高到2.2%以上，稳定性较强，对于地震等恶劣环境下的环境参数感知具有重大的意义。

关键词：多气体检测;温湿度补偿;小型化;GA-PSO-BP算法

基金资助：国家自然科学基金青年科学基金（51705475）资助