基于SSPPs传感器的金属凹槽填充工件检测

来源：电子测量技术杂志2024年第8期北京时间：

作者：宿丕强，赖小皇，张耕，董静，钟明

单位：中国航发四川燃气涡轮研究院 绵阳 621010

摘要：提出了一种基于液体开关控制的人工表面等离激元传感器，用于检测金属凹槽填充密度。该传感器由液体开关控制器和功分结构组成。液体开关由塑料管和带水的注射器组成，固定在SSPPs传感器的分支结构上。塑料管内充满水时，支路不能传输信号，这称为“OFF”状态。相反，塑料管内无水时称为“ON”状态。通过切换传感器支路的“ON”或“OFF”状态，可以控制SSPPs传感器的传感区域。该检测方法是基于凹槽填充质量变化引起的SSPPs传感器反射系数的变化，通过切换支路状态，可以检测各支路下方是否存在填充质量问题。实验结果表明，SSPPs传感器可以有效检测10 mg填充变化，可用于实现批量生产工件的快速筛选。

关键词：人工表面等离激元;功分结构;液体开关控制;金属材料;凹槽填充;微波无损检测

基金资助：国家重点研发计划项目（2021YFB3801704）资助