MOPA结构准分子激光系统的同步控制
来源：激光技术杂志2015年第2期北京时间：
作者：钱小东, 李皙茹, 梁勖, 鲍健, 张铄
摘要：为了使主振荡功率放大结构的ArF准分子激光器实现双腔同步放电,采用同步逻辑快速响应双腔放电时序,根据同步控制逻辑自动对双腔延时进行精密调节,使用四位二进制计数器实现粗调搜索,快速缩小双腔延时差,而使用通用数字可编程延时芯片来实现小精度延时调节。结果表明,双腔放电同步调节之后,放电时差稳定在23ns左右,同步抖动小于±3ns,满足4kHz高重复频率下主振荡功率放大结构准分子激光器同步控制的要求。
关键词：激光器, 同步控制, 同步逻辑, 粗调延时, 细调延时
