直边衍射激光驻波场中铬原子的沉积特性研究
来源：激光技术杂志2015年第2期北京时间：
作者：肖宇馨, 张文涛
摘要：为了研究沉积基片对激光驻波场的影响,基于半经典理论,采用4阶龙格-库塔算法对直边衍射效应影响下铬原子的3维运动轨迹和3维沉积条纹结构进行了仿真。研究了激光束腰中心到反射镜的距离、高斯激光束腰半径对最终沉积过程的影响。结果表明,通过适当地调节实验参量,可以改变激光驻波场受到衍射效应的程度;当反射镜位于激光束腰截面处、高斯激光束腰半径为62.5μm时,纳米沉积条纹的质量最理想。这将为原子光刻实验提供有益的理论依据和数据信息。
关键词：激光光学, 衍射效应, 龙格-库塔算法, 高斯光束
