用于快速反射镜的压电陶瓷驱动系统设计

来源：电子测量技术杂志2015年第7期北京时间：

作者：王帅

单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春130033

摘要：设计了一种用于快速反射镜的压电陶瓷驱动系统，并进行了检测。首先分析了快速反射镜的驱动原理，并确定系统的主要设计指标；然后以PA92为驱动核心，分别进行输入级电路、滤波电路和高压放大计电路的设计，该系统具有3路驱动通道：一路固定100 V输出;两路0~100 V可变输出，可实现快速反射镜的推拉驱动。实际测试结果表明：该系统输出电压的非线性度为0.075%，最大纹波电压峰峰值为8.2 mV，驱动10 μF的等效负载时，100 V大信号阶跃响应上升时间和下降时间约为290 μs，实际驱动S340型快速反射镜时，系统的-3 dB带宽达到326 Hz，提高了快速反射镜的频率响应范围。

关键词：快速反射镜;压电陶瓷;功率放大器;PA92