交叉电容式传感器研究进展综述

来源：电子测量技术杂志2022年第7期北京时间：

作者：张洪朋，郑文博，李伟，王英新，赵旭鹏，孙玉清

单位：大连海事大学轮机工程学院 大连 116026

摘要：本文介绍了交叉电容原理的起源和发展历程。讲述交叉电容用于电容基准的研究现状以及对1pF电容量的测量不确定度逐步降低到10-8。综述了交叉电容器用于传感器制作的方法和原理以及典型应用，对比传统电容传感器对交叉电容式传感器进行了如下分类：变介质型、变面积型和变极板间距型，并对它的优缺点进行了分析；最后讲述了微小电容检测的方法。在分析现有交叉电容传感器的研究基础上，探讨了如何进一步优化交叉电容式传感以及发展方向。通过对现有的交叉电容式传感器进行综述归纳，使得电容传感器体系更加完善同时为后续的交叉电容器研究提供参考。

关键词：交叉电容;电容基准;传感器;电容检测

基金资助：国家自然科学基金资助项目(51679022)、大连市科技创新基金(2019J12GX023)资助项目