一种非接触式光学微腔液压测量系统

来源：电子测量技术杂志2024年第7期北京时间：

作者：魏鹤鸣，侯林嵩，丁武成，殷瑞雪，任冬妮

单位：1.上海大学特种光纤与光接入网重点实验室 上海 200444; 2.华东理工大学机械与动力工程学院 上海 200000; 3.明澈生物科技(苏州)有限公司 苏州 215100

摘要：为满足在狭小腔室中测量液体压强的需求，设计了一种非接触式光学法布里珀罗微腔液压测量系统，其中，光学微腔采用双光子三维打印技术制备，膜结构尺寸仅为350 μm，设计的膜厚分别为4 μm和6 μm。系统主要采用嵌入式设计与衍射光栅光谱模块互联，实时采集光学微腔干涉光谱信号，实现了高精度光谱动态解调。实验结果表明，室温（25 ℃）下，4 μm膜厚的微腔液压灵敏度高达398 pm/kPa，系统分辨率可达35.5 Pa，重复性较好，有望用于生物医学眼压等应用场景。

关键词：微腔压力传感;双光子三维打印技术;非接触式光学传感;液体压强测量系统