考虑工件释放时间和柔性维护的单机调度问题
来源：计算机集成制造系统杂志2023年第2期北京时间：
作者：李小林, 司佳佳, 尹传传, 李玉鹏
单位：中国矿业大学矿业工程学院
摘要：针对晶圆制造过程中考虑清洗维护的生产调度联合优化问题,以最小化最大完工时间为求解目标,优化工件加工顺序及维护活动执行时间。证明了该问题为NP难的,建立了问题的整数规划模型并进行线性化。结合机器役龄约束下的成批调度问题特征,证明了解的性质,并设计ERD-LPT-BFLD启发式算法对问题进行求解。构建了考虑工件释放时间及清洁活动约束的下界算法。通过不同规模算例仿真实验,将所提启发式算法与CPLEX及下界算法求解结果进行比较,验证了所提算法的有效性。
关键词：单机调度,晶圆清洗,柔性维护,释放时间,启发式算法
基金资助：国家自然科学基金资助项目(71401164);中国博士后科学基金资助项目(2018M642367)。
