固体隙法布里-珀罗干涉仪成像特性仿真研究

来源：激光技术杂志2025年第3期北京时间：

作者：潘海涛, 陆家加, 龚秋成, 王天才, 朱亚军, 张斌, 谭中奇

摘要：法布里-珀罗(F-P)干涉仪多采用气体隙F-P腔结构，常受腔镜调节、稳定性、体积等因素的限制，为了解决上述问题，利用固体隙F-P腔结构进行了改进。基于多光束干涉理论对固体隙F-P干涉仪开展仿真研究，对各级次干涉条纹峰值位置和半峰全宽位置进行了求解，分析了固体隙F-P腔的腔长、反射率和介质折射率3个因素对固体隙F-P干涉仪的成像质量影响，并根据需求加工了一块16 mm厚的固体隙F-P腔样品。结果表明，1级条纹峰值位置偏差优于5个像素点，其它级次条纹偏差均优于2个像素点，两者吻合性较好。该工作初步验证了固体隙结构在干涉仪成像中的适用性和可扩展性，完成了固体隙F-P干涉仪的基础理论探索，并为固体隙F-P干涉仪的相关研发工作提供了参考。

关键词：光学设计, 光学检测, 法布里-珀罗干涉仪, 固体隙法布里-珀罗腔, 多光束干涉理论