红外波段激光驱动极紫外光刻光源研究进展

来源：激光技术杂志2025年第3期北京时间：

作者：吕天皓, 宋艳洁, 宗楠, 张申金, 薄勇, 彭钦军

摘要：激光驱动等离子体产生13.5 nm的极紫外光源，用于目前最先进的光刻机，而10.6 μm CO2气体激光是商用极紫外光刻机的驱动光源。固体激光由于插头效率高、输出功率/能量可扩展性强等优点，有望在未来成为新一代驱动光源。归纳了产生极紫外光源的激光-等离子体相互作用的物理过程，综述了10.6 μm CO2气体激光器、1 μm和2 μm固体激光3种红外波段激光在驱动等离子体产生极紫外光和光学系统方面的研究进展，讨论了1 μm和2 μm固体激光器作为驱动光源的优越性。在此基础上，对红外波段激光驱动极紫外光刻光源的研究前景进行了展望。

关键词：激光物理, 极紫外光刻光源, 激光-等离子体作用, 固体激光器, 转换效率