2维超大行程快反镜的分段非线性拟合标定

来源：激光技术杂志2025年第1期北京时间：

作者：李晓天, 陈青山, 王艳林, 刘力双

摘要：为了实现集高速扫描与精确指向功能于一体的2维超大行程快速反射镜(快反镜)的高重复定位精度与分辨率，采用分段标定方法，设计了2维超大行程快反镜角度标定系统；对多项式拟合法进行优化得到分段式非线性拟合法，并对标定模型进行了理论分析和实验测试。结果表明，在±5°范围内，传统的多项式拟合法标定误差最高达1.7 mrad，而优化后的分段式非线性拟合法在±5°标定的拟合误差小于8.2 μrad，x、y轴分辨率分别可达4.6 μrad和5.6 μrad，x、y轴重复定位精度分别为19.4 μrad和9.6 μrad。此研究对精确控制2维超大行程快反镜有重要的作用。

关键词：光学器件, 超大行程快反镜, 分段非线性拟合, 系统标定