一种评价磁流变抛光工艺误差抑制能力的方法

来源：激光技术杂志2025年第1期北京时间：

作者：高博, 范斌, 王佳, 吴湘, 辛强

摘要：为了分析磁流变加工过程中去除函数对加工精度的影响以及去除函数的抗中频误差性能，采用平滑谱方法对加工中误差抑制能力进行了评估。通过非球面光学元件对平滑谱方法及传统功率谱方法进行了理论分析、仿真实验及实验验证，采用平滑谱方法及传统功率谱方法分析了去除函数对非球面光学元件的面形误差和中频误差的抑制能力。结果表明，平滑谱方法对加工中误差抑制能力即去除函数可修正的面形误差值为0.22 mm-1；平滑谱函数可直观地判断去除函数对面形误差和中频误差的抑制能力，并可明确地定量化判断中频误差的变化规律。此方法为磁流变加工中误差抑制能力的评估问题提供了一种解决方案。

关键词：光学制造, 误差评价, 平滑谱曲线, 中频误差