基于SiN平板波导光栅的128通道光学相控阵
来源：激光技术杂志2024年第6期北京时间：
作者：马鹏飞, 于磊, 王政, 王鹏飞, 张冶金, 潘教青
摘要：为了避免全硅光学相控阵(OPA)的输出光功率饱和现象以及氮化硅的低移相效率，采用硅与氮化硅相结合的设计思路, 在实现高功率输入的同时保证了调相效率；此外，硅基集成OPA为了避免通道间的相互耦合所引起的相位噪声，波导间距大于半波长，导致栅瓣的存在，进而使得扫描范围受限，故采用硅波导作为天线前的输入波导, 以减小阵元间距。结果表明，芯片最终实现了41°×7.4°的扫描范围以及10.7 dB的芯片损耗。该研究对于OPA芯片的进一步改进是有帮助的。
关键词：集成光学, 衍射, 光栅, 光学相控阵
