垂直腔面发射激光器阵列的热设计研究进展

来源：激光技术杂志2024年第6期北京时间：

作者：金冬月, 洪福临, 张万荣, 张洪源, 王毅华, 王焕哲, 王楷尧, 关宝璐

摘要：垂直腔面发射激光器(VCSEL)通常采用由小尺寸发光单元并联的2维阵列结构来提高输出光功率、改善激光光束质量，然而随着芯片尺寸不断缩小以及阵列集成度不断提高，由VCSEL单元自身功耗引起的自加热效应及各单元之间的热耦合效应将导致VCSEL阵列结温急剧上升，在热-光-电反馈作用下，将严重制约VCSEL阵列的光学性能及热可靠性，对VCSEL阵列热设计提出了迫切要求。在阐明VCSEL阵列产热机理的基础上，从热-光-电模型建立、热设计方法两方面归纳总结了VCSEL阵列热设计最新进展，并对热设计发展趋势进行了展望。

关键词：激光器, 2维阵列, 热-光-电模型, 热设计