真空环境下低损耗高反射光学元件性能退化特性

来源：激光技术杂志2020年第6期北京时间：

作者：许彬, 李斌成, 高椿明, 王强, 郭小红, 孙启明

摘要：为了研究真空环境对光学薄膜的影响，将离子辅助沉积制备的1064nm强光反射膜样品放置于真空度优于1×10-5Pa的不锈钢真空室，实验观测其反射率和吸收损耗随放置时间的变化。结果表明，样品在真空环境放置335h后，其反射率从99.9823%下降到了99.9543%，吸收损耗从6.8×10-6上升到了59.5×10-6, 用酒精乙醚混和液擦拭后其光学性能完全恢复, 样品表面的污染层厚度随时间增加; 操作过程中的人为因素是导致强光反射膜元件光学性能持续下降的主要原因。这一结果对高能/高功率激光光学元件在真空应用环境中稳定性的提高是有帮助的。

关键词：薄膜, 污染, 激光量热法, 光腔衰荡, 吸收损耗, 反射率, 真空环境