基于条纹反射法的平面镜面形测量
来源：激光技术杂志2020年第6期北京时间：
作者：饶喾, 燕必希, 董明利, 王君, 孙鹏
摘要：为了评价平面镜面形误差，采用基于条纹反射法的面形检测原理、通过平面镜法线偏移实现面形误差评价的方法。将正弦条纹投射至光屏，经被测平面镜反射至相机，通过小孔成像原理和四步相移法获得被测平面镜上一点的法线，并与经最小二乘算法面形重建的该点理论法线比较，获得该点法线偏移，利用法线偏移实现对平面镜的面形评价。对测量方法进行计算机仿真，以证明其正确性；搭建实验测量系统，并对某一款手机屏幕进行测量实验。结果表明，该测量方法的重复性精度优于1mrad，测量重复性高。该研究为玻璃面板等具有高反射特性的平面面形误差提供了参考。
关键词：光栅, 平面镜, 面形检测, 条纹反射法, 法线偏差
