关于我国集成电路装备国产化问题的研究
来源：电子测量技术杂志2019年第2期北京时间：
作者：张倩
摘要：集成电路设备处于集成电路产业链的上游，是整个产业的重要环节。打造国内技术先进、安全可靠的装备产业体系具有产业链自主可控的战略意义。集成电路装备是一个拥有极高技术门槛的行业，致使整个行业被美国、日本和荷兰的少数巨头高度垄断。从分析厂商整体情况、技术现状以及研发投入等差距入手，进而发现我国集成电路装备产业存在国产设备销售进度依赖性强、国产设备与大尺寸晶圆片生产线未有效结合、封测设备严重依赖进口等问题。并结合产业实际发展情况，分析当前面临的形势与挑战，对中国集成电路装备产业在此背景下的发展做出建议。
关键词：集成电路;装备制造业;工艺设备;检测设备;极紫外光刻;国产化
