V型MEMS电热执行器技术研究
来源：电子测量技术杂志2021年第3期北京时间：
作者：保慧琴，卫霞，李茹
单位：西安明德理工学院，西安，710124
摘要：V型电热执行器结构简单、执行力大、能够输出直线型位移，广泛用于MEMS系统中。本文利用热电效应，对V型电热执行器进行了讨论，得到了执行器上温度分布、最大位移以及阶跃响应时间的理论分析值，并利用有限元分析软件ANSYS进行了仿真验证，结果表明理论分析值和仿真结果保持一致。对执行器的几何参数对器件性能的影响进行研究，搭建测试平台对执行器的性能进行测试，14V电压下可以在4ms内达到稳定的工作状态。
关键词：电热执行器;温度分布;位移;响应时间
