多晶硅红外探测器在工业加热炉上的应用研究

来源：电子测量技术杂志2021年第6期北京时间：

作者：刘纯红，熊丹枫，余龙宝，吴海滨

单位：1合肥师范学院物理与材料工程学院，合肥，230601 2安徽省光电感测工程技术研究中心，安徽 合肥 230601

摘要：工业加热炉中，受高温环境的影响一般探测器无法测量工件的真实温度。针对工业加热炉温度检测问题，设计了多晶硅红外探测器实时测温系统。通过黑体炉对探测器的输出与环境温度的关系、以及光电转换性能进行测试；结果为工作环境温度超过30℃时输出急剧减小，且随着目标温度升高，动态范围减小。设计在探测器前端增加衰减片和一种具有夹层结构的防护罩，结果表明该系统有效拓展了多晶硅红外探测器的动态范围，保障探测器的环境温度在30℃范围内，测量精度达到0.85℃，满足工业要求，解决了多晶硅红外探测器在工业加热炉上的应用。

关键词：工业加热炉;多晶硅红外探测器;动态范围;衰减片

基金资助：安徽省高校自然科学研究重点项目（KJ2020A0125）