压阻式微差压传感器倾角误差分析与研究

来源：电子测量技术杂志2023年第17期北京时间：

作者：张龙赐，金忠，曾庆平

单位：1.中国电子科技集团公司第四十八研究所 长沙 410111; 2.高性能智能传感器及检测系统湖南省重点实验室 长沙 410111;3.薄膜传感技术湖南省国防重点实验室 长沙 410111

摘要：针对压阻式微差压传感器在不同姿态位置下倾角误差大的问题，设计了符合灵敏度要求的4种量程的微差压传感器，结果发现，单岛膜结构在硅岛边缘形成了应力集中，双岛膜结构在两岛之间中心位置形成了应力集中，均有助于提高灵敏度。通过单隔离膜片微量充油封装设计减少对倾角误差的影响，结果表明，传感器零点输出与倾角角度近似线性关系。差压量程越小，倾角误差越大。其中，2 kPa时倾角误差不超过094%。本研究为微差压传感器设计及其倾角误差分析提供了依据。

关键词：微差压;岛膜设计;仿真分析;倾角误差