基于轴向电涡流效应的高精度长位移传感器

来源：电子测量技术杂志2024年第6期北京时间：

作者：徐笠杰，王艳林，陈青山

单位：北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院 北京 100192

摘要：为了实现大行程精密光学调焦组件的高精度实时检测，研究基于轴向电涡流效应的高精度长位移传感器。建立了长位移电涡流探头仿真模型进行线性度测试，搭建电涡流传感器测试系统进行精度实验，并将长位移电涡流传感器接入精密光学调焦组件。实验结果表明：在可测量位移达到24 mm的同时，线性度优于1%，分辨率优于0.5 μm，精度优于1 μm，高精度长位移电涡流传感器符合精密光学调焦组件的需求。

关键词：电涡流传感器;轴向电涡流效应;精密光学调焦组件;长位移;高精度

基金资助：光电信息控制和安全技术重点实验室项目（202105509）资助