基于排队网络的晶圆制造自动化物料运输系统性能模型
来源：计算机集成制造系统杂志2014年第09期北京时间：
作者：朱登洁,吴立辉
单位：1.武汉理工大学机电工程学院2.河南工业大学机电工程学院
摘要：为快速有效地分析晶圆制造自动化物料运输系统的性能,以获得优化的系统设计方案,提出一种基于排队网络的性能分析模型。该模型考虑多运输小车的堵塞特性,将运输小车运行过程等效为排队网络过程,并采用虚拟元对自动化物料运输系统的捷径导轨特性进行描述,提高了性能分析模型的准确性。采用某晶圆制造企业的实际生产数据进行实验,并与仿真模型进行比较。结果表明：基于排队网络的性能分析模型与仿真模型在运输小车利用率、AMHS搬运能力和空载小车到达平均时间间隔等指标方面的相对误差值97%处于［-7%,9%］的区间范围,且比仿真模型具有更高的计算效率。
关键词：晶圆制造,自动化物料运输系统,性能分析模型,排队网络
基金资助：国家自然科学基金资助项目(71201048)。
