基于性能评估的EWMA控制器在线优化方法
来源：计算机集成制造系统杂志2014年第11期北京时间：
作者：陈良,葛翠翠,王飞龙
单位：苏州大学机电工程学院
摘要：为解决半导体制造业中小批量、多品种的生产特性和设备老化造成的控制器性能下降的问题,针对最常用的指数加权移动平均控制器,提出一种基于性能评估的在线优化方法。在性能评估过程中,以时间序列分析中定义的输出均方差作为评判基准,提出一种新的性能评价指标。通过评估EWMA控制器的性能得到控制器当前的最优参数并自动整定,同时结合移动窗口技术实现在线优化,使控制器性能始终保持在最佳状态。为验证方法的可行性和有效性,以化学机械抛光过程的在线优化问题为实例进行了仿真实验。
关键词：指数加权移动平均控制器,在线优化,性能评估,自动整定
基金资助：国家自然科学基金资助项目(60904039);江苏省科技计划资助项目(BC2011084)。
