性能指标驱动的半导体生产线动态派工方法
来源：计算机集成制造系统杂志2014年第11期北京时间：
作者：贾鹏德,吴启迪,李莉
单位：同济大学电子与信息工程学院
摘要：为了求解不确定生产环境下的半导体生产线调度问题,提出一种基于极限学习机的性能指标驱动的动态派工方法。首先通过半导体生产线仿真系统仿真,得到所需样本,进而通过极限学习机建立半导体生产线性能指标预测模型;然后通过预测出的性能指标,结合生产线的实时状态信息,学习产生调度过程中的动态派工规则算法所需的最佳系数,驱动生产线派工决策,使其性能指标趋向预测值,最终达到提高生产线整体性能的目的。通过仿真平台验证了该方法能够有效提高生产线的性能指标。
关键词：半导体制造,性能指标驱动,调度方法,工况,极限学习机
基金资助：国家自然科学基金重点资助项目(61034004)。
