面向半导体制造的大数据分析平台

来源：计算机集成制造系统杂志2016年第12期北京时间：

作者：杨俊刚,张洁,秦威,张启华,康盛

单位：1.上海交通大学机械与动力工程学院2.中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

摘要：为充分利用半导体制造过程产生的大量数据,发掘数据中蕴含的价值,对半导体制造过程进行分析、预测和调控,建立了半导体制造大数据分析平台。归纳得出了半导体制造过程中大数据的特性,提出了半导体制造大数据分析体系架构,分析了其关键技术和实现方法。根据半导体制造过程中大数据的使用特点,将数据导入、去重、筛选、标准化等共性操作归入平台通用预处理层;预处理后的数据进入数据仓库层,在数据仓库中按主题进行组织;最上方的专用处理算法层根据上层应用的特定数据要求,从数据仓库中抽取数据,使用专用算法进行处理,为其提供标准化、可靠、可复用的数据资源。最后基于半导体制造企业的实际情况搭建了原型系统,对半导体制造过程产生的大量实际数据进行导入、存储、组织和预处理,并进行了性能测试和常用统计分析算法测试。

关键词：大数据,制造过程数据,半导体制造,分布式处理,Hadoop

基金资助：国家自然科学基金资助项目(51435009,51275307)。