基于工业大数据的晶圆制造系统加工周期预测方法
来源：计算机集成制造系统杂志2017年第10期北京时间：
作者：朱雪初,乔非
单位：同济大学CIMS研究中心
摘要：加工周期是晶圆制造系统的关键指标,对于进行准确的预测分析有助于帮助制定有效的调度排产计划。利用晶圆智能制造系统的工业大数据提取出有效信息,提出了基于工业大数据的晶圆加工周期预测方法框架;针对生产线状态会随时间推移动态变化、生产数据生命周期的问题,设计了预测模型的动态更新机制;考虑到生产线数据记录不准确的情况,比较了多种回归算法,以实例验证了所提方法的有效性。
关键词：晶圆制造系统,工业大数据,数据驱动,加工周期,数据生命周期,预测回归
基金资助：国家自然科学基金重大资助项目(71690234)。
