基于原位共角椭偏与反射谱的TiO2薄膜光学常数分析

来源：激光技术杂志2022年第2期北京时间：

作者：孙晓娟, 韩培高, 隽方蓥, 郝殿中

摘要：为了分析溶胶-凝胶法制备的TiO2薄膜的光学常数，采用旋涂法制备了多层TiO2薄膜，利用扫描电镜对表面形貌进行了分析，利用椭圆偏振光谱对薄膜的折射率色散和孔隙率进行了拟合分析，并利用原位共角反射光谱对拟合结果进行了验证，得到了TiO2薄膜厚度、孔隙率和折射率色散曲线。结果表明，TiO2薄膜厚度与旋涂层数成线性关系，薄膜孔隙率约为15%且与旋涂层数无关，New Amorphous色散模型可以较好地拟合溶胶-凝胶旋涂方法制备的TiO2薄膜在1.55eV~4.00eV波段的椭偏光谱。该研究为溶胶-凝胶法制备的TiO2薄膜的光学常数测量提供了参考。

关键词：光谱学, 光学常数, 椭圆偏振光谱, 二氧化钛薄膜