InGaAs纳米线雪崩焦平面探测器发展研究
来源：激光技术杂志2021年第1期北京时间：
作者：张伟, 徐强, 谢修敏, 邓杰, 覃文治, 胡卫英, 陈剑, 宋海智
摘要：基于InGaAs纳米线的光电探测器，由于其优异的性能而受到广泛的关注和研究。综述了InGaAs纳米线光电探测器的探测机理、材料结构、器件性能和当前的研究现状。讨论了InGaAs纳米线雪崩焦平面探测器结构设计、纳米线材料精密生长、纳米线材料的界面与缺陷控制、纳米线雪崩焦平面器件制备工艺等关键技术。对发展高光子探测效率、低噪声、高增益InGaAs纳米线雪崩焦平面探测器的前景进行了展望。
关键词：传感器技术, 雪崩焦平面探测器, InGaAs纳米线阵列, 光电二极管, 探测器
