平面电容传感器液位检测系统设计

来源：激光技术杂志2021年第1期北京时间：

作者：瞿惠琴, 谷永先, 吴孔培, 叶倩

摘要：为了对高度小于100mm的液位进行非接触式测量，采用液位变化改变平面电容边缘电场参量的方法，对平面电容传感器的工作原理进行了理论分析，研究了平面电容传感器的结构参量对其灵敏度、穿透深度的影响，并对传感器结构参量进行了优化, 基于平面电容传感器, 设计了非接触式低液位检测系统，通过对纯净水、洗洁精溶液和墨汁的实验验证，取得了0mm~100mm范围的液位测量数据。结果表明，该检测系统工作稳定，具有线性输出，重复性误差约为±0.28%，数据修正前的测量误差小于7.8%。这一结果对非接触式较低液位的检测是有帮助的。

关键词：测量与计量, 液位检测, 平面电容传感器, 电极结构, FDC2214