钡化合物辅助激光刻蚀石英玻璃的实验研究

来源：激光技术杂志2018年第3期北京时间：

作者：丛启东, 袁根福, 章辰, 郭百澄

摘要：为了提高石英玻璃对普通脉冲红外激光的吸收效率，用钡化合物粉体覆盖层辅助1064nm红外激光刻蚀石英玻璃，采用能谱仪和X射线衍射分别对BaCrO4，BaCl2和Ba（OH）2粉体覆盖层辅助激光刻蚀石英玻璃得到的刻槽底面刻蚀产物进行了测试和分析，对3种刻蚀方法的刻蚀机理进行了理论分析和实验验证。结果表明，BaCrO4和Ba（OH）2粉体的刻蚀机理都存在化学反应去蚀石英玻璃的作用，二者去蚀率都较高；BaCl2粉体的刻蚀过程中无化学反应起到去蚀作用，去蚀率低下。这一结果对激光加工石英玻璃的工业应用提供技术基础。

关键词：激光技术, 激光刻蚀, 钡化合物, 粉体覆盖层, 石英玻璃