飞秒激光制备光纤U形微结构应用于折射率传感

来源：激光技术杂志2017年第6期北京时间：

作者：宁贵毅, 傅贵, 史萌, 付永栋, 马任德, 苏富芳

摘要：为了实现低成本、高精度的折射率测量，采用飞秒激光微加工技术，制备出基于U形微结构的多模光纤液体折射率传感器。研究了传感器的通光功率变化值与U形槽深度以及U形槽内液体折射率的关系，同时探究了在相同光损耗情况下不同烧蚀长度对灵敏度的影响，并使用射线理论和模式理论对传感机理进行了分析。结果表明，该传感器在折射率1.3331~1.3731范围内具有良好的线性响应，且可以做到5700μW/RIU的灵敏度；同时在10dB损耗情况下20μm烧蚀长度具有较好的灵敏度。该传感器具有结构简单、容易制备、灵敏度高和低成本等优点，在化学、生物、医学、环境监测等方面有广泛的应用前景。

关键词：传感器技术, 飞秒激光, 光纤传感器, U形微结构, 折射率