913单元变形镜性能测试与分析

来源：激光技术杂志2017年第6期北京时间：

作者：尤俊成, 周虹, 官春林, 樊新龙, 牟进博

摘要：为了满足自适应光学系统校正高阶像差和在低温环境下正常使用的要求，研制了一块913单元的分立式连续表面变形镜。利用Ø300mm口径Veeco干涉仪对变形镜的部分静态性能进行了面形影响函数测量、面形展平测试和Zernike像差拟合测试，并利用4-D动态干涉仪测量了变形镜从20℃~-10℃的面形。结果表明，913单元分立式连续表面变形镜各驱动点的最大变形量为±3.5μm，相邻驱动器之间的交连值为9.3%；展平后的镜面面形波峰波谷值为66.0nm，均方根值为5.0nm；913单元变形镜对Zernike多项式的拟合能力达到了设计要求；变形镜的低温镜面变形不影响系统的正常使用。该913单元变形镜能够满足自适应光学系统的实际使用要求。

关键词：光学器件, 变形镜, 性能测试, 温度变形