基于相敏检波和位置探测器的位移检测系统
来源：激光技术杂志2017年第2期北京时间：
作者：黄沛, 陈博, 李岩
摘要：为了实现对微小位移的测量，研制了一套基于单模光纤输出半导体激光器和2维位置敏感探测器的位移检测系统，可以有效地抑制环境光噪声。对半导体激光器的注入电流进行1kHz的调制，实现输出光功率的调制。在信号处理电路中，采用相敏检波技术，解调探测器的输出交流信号，得出光斑能量中心位置，消除外界干扰。结果表明，测量精度优于1μm。这一结果对于多自由度误差检测是有帮助的。
关键词：激光技术, 位置检测, 相敏检波, 2维位置敏感探测器
