飞秒激光背部湿刻石英玻璃微通道的研究
来源：激光技术杂志2017年第2期北京时间：
作者：梁德志, 王敏, 杜晨林, 伍晓宇
摘要：为了获得飞秒激光背部湿刻石英玻璃微通道的最佳参量，通过分别改变飞秒激光的功率、刻蚀速率和显微物镜的放大倍数进行了实验。采用超景深显微镜对加工样品进行观察和测量，并分析了微通道的形貌。结果表明，在飞秒激光功率为50mW、刻蚀速率为0.010mm/s、20×显微物镜聚焦的实验条件下，可以制备出深度为1466μm、深宽比为32的石英玻璃微通道。此研究对3维结构维纳制造技术有一定的应用价值。
关键词：超快光学, 微通道, 激光诱导背部湿刻, 石英玻璃
