3kW射频板条CO2激光器功率稳定性的研究

来源：激光技术杂志2017年第1期北京时间：

作者：陈晓姣, 唐霞辉, 彭浩

摘要：为了解决3kW射频板条CO2激光器在高功率工作条件下功率波动的问题，采用外光路转折镜调节方法对腔镜热畸变造成的光路偏移进行补偿。研究了基于芯片TMS320LF2407的脉宽调制器控制激光器注入功率的关键技术，设计了整形光路尾镜取样功率检测系统，并分析了外光路自适应调节系统的补偿原理。结果表明，整形光路尾镜取样功率检测系统与基准功率计的最大误差为±2.59%，其具有高线性度；采用PA 100/T 14型压电陶瓷微位移驱动器，对微动距离不超过54μm的自适应调节转折镜进行调节补偿，光束偏移不会超出空间滤波器的0.8mm狭缝宽度；调节补偿前后输出功率波动由18%降到2%，达到了由于腔镜热变形导致光束偏移的补偿要求，整形光束的旁瓣消失，获得最佳模式输出。此项研究对提高激光器输出功率稳定性具有一定的实用价值。

关键词：激光器, 3kW射频板条CO2激光器, 整形光路尾镜取样, 功率检测与反馈, 光束偏移, 转折镜调节补偿