激光发散角测量的误差分析

来源：激光技术杂志2016年第6期北京时间：

作者：张德斌, 宋余华, 王全胜, 杜亚清, 张新兴, 张豪

摘要：为了研究产品装调过程中，套孔法和CCD成像法得到的激光发散角偏差较大原因，采用ZEMAX仿真进行了理论分析，并结合相关试验进行了验证。结果表明，在CCD白光观瞄系统中利用CCD成像法测量激光光斑大小时，由于白光与激光间存在光程差，计算激光发散角时，需要消除光程差导致的图像误差的影响。激光光斑大小与距离符合双曲线规律变化。近场条件下不成线性关系，CCD成像法测量得到的激光光斑图像偏大，计算得到的激光发散角远大于套孔法的测量值；远场条件下近似成线性关系，套孔法及CCD成像法测算得到的激光发散角数值基本一致。该研究可以根据产品的设计参量，消除光程差对激光激光束散角的影响，提高测量精度。

关键词：测量与计量, 双曲线规律, CCD成像法, 光程差