一种优化超稳光学腔的数值方法
来源：激光技术杂志2016年第6期北京时间：
作者：叶森, 龙云, 王如泉, 曹强, 肖三强, 赵宏鸣, 杜渐
摘要：为了降低超稳光学腔的振动敏感度，在综合考虑振动所导致的腔镜位移及转动后，定义了一个新的表征腔体振动敏感度的参量。采用有限元数值分析方法，用所定义的单一参量优化了一个典型的立式超稳光学腔。优化过程考虑了腔体端面直径、支撑孔位置和深度等关键几何参量。结果表明，优化后的腔体结构和支撑方式可以明显降低超稳腔对振动的敏感度，腔体稳定性比优化前提高1.5倍。该优化方法操作性强，能够有效提升超稳腔仿真和设计的效率。
关键词：激光光学, 超稳光学腔, 有限元分析, 超精密测量
