迈克尔逊干涉条纹位移信息提取研究

来源：电子测量技术杂志2021年第5期北京时间：

作者：李忠明，唐延甫，李俊霖，杨永强，李洪雨

单位：1中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，长春 130033; 2中国科学院大学，北京100049

摘要：本文基于迈克尔逊干涉原理，利用干涉成像原理和图像处理技术，提出了利用干涉条纹半径变化情况来获取干涉条纹位移信息的方法。该方法以面阵CCD相机采集的图像为处理对象，采用去噪、顶帽变换、二值化、形态学处理等预处理操作，再利用连通域特征识别得到图像中心亮干涉条纹的半径。通过半径的变化趋势与幅度，实现位移信息提取。实验表明，本方法突破了干涉条纹计数时位移检测最高分辨率为λ/2的限制，利用了每帧干涉图像所提供的变化信息，实现位移检测分辨率λ/4。

关键词：迈克尔逊干涉;信息提取;图像处理;特征识别

基金资助：国家自然科学基金（51505076）