基于MEMS工艺W频段高效功率合成器的设计

来源：电子测量技术杂志2021年第9期北京时间：

作者：于士同，邢小明，夏侯海

单位：南京电子技术研究所 南京 210039

摘要：传统W波段功率合成器因为尺寸大很难与其它平面电路集成，限制了其在小尺寸平台上的应用。为了解决这个问题，开展高效率、小型化功率合成器的研究。本文提出了一种新型2路波导空间功率合成器结构，基于硅材料，使用MEMS工艺和晶圆键合三维堆叠技术，在硅基上开展多路功率合成，实现W频段高效率、小型化的功率合成。极大提升加工精度，使得整体性能更好、尺寸更小，更易于集成。仿真结果显示，整体结构在90~96GHz频率范围内，回波损耗低于-22.5dB，插入损耗优于-0.22dB，整体功率合成效率优于95%。

关键词：MEMS工艺;空间功率合成;硅基波导;插入损耗;回波损耗