硅基还原氧化石墨烯热电阻温度传感器

来源：电子测量技术杂志2021年第23期北京时间：

作者：张君娜，梁庭，雷程，赵珠杰，齐蕾

单位：1.中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室，太原 030051;2北方自动控制技术研究所，太原030006

摘要：为了解决传统的铂电阻式、金属等温度传感器灵敏度不高及性能不稳定的问题，本文选用新型纳米材料还原氧化石墨烯为温敏材料，利用mems工艺工艺制备了叉指电极热敏电阻，通过滴涂法将还原氧化石墨烯与叉指电极有效组装起来，制备了一种硅基还原氧化石墨烯热电阻温度传感器，对还原氧化石墨烯形貌进行了扫描电子显微镜（SEM）表征，并搭建了测试系统对性能进行了测试。结果表明，从30℃到210℃范围内，传感器的电阻随温度的上升而下降，传感器的灵敏度约为85.97Ω/℃，线性度高达0.98049，同时具有极小的迟滞性和良好的稳定性。

关键词：还原氧化石墨烯;叉指电极;滴涂法;温度传感器;测试

基金资助：山西省自然科学基金资助项目（201801D221203）、高等学校科技创新资助项目（1810600108MZ）