L~Ka波段MEMS单刀七掷开关的设计与研究

来源：电子测量技术杂志2022年第8期北京时间：

作者：吴倩楠，范丽娜，李孟委

单位：1.中北大学前沿交叉科学研究院 太原 030051;2.中北大学理学院 太原 030051;3.中北大学微系统集成研究中心 太原 030051

摘要：针对目前MEMS单刀七掷开关体积大、插入损耗及隔离度较差的问题，设计了一种基于“米”字型功分器的单刀七掷MEMS开关，通过HFSS软件对射频MEMS开关单元和“米”字型功分器进行设计，对开关的S参数、驻波比进行了仿真研究，并采用COMSOL软件对射频MEMS开关单元进行机械性能分析。结果表明：在1~40GHz频段内，单刀七掷MEMS开关各个端口的插入损耗≤0.45dB@40GHz，隔离度≥29.5dB@40GHz，驻波比≤1.45，且体积仅有0.65mm×0.5mm×0.5mm。此设计可与滤波器、衰减电阻、天线等集成，应用于多通道可调谐MEMS器件中，在卫星通信、雷达、和微波测试领域中具有一定的应用价值。

关键词：单刀七掷开关; MEMS; 米字型功分器; 小体积; 低插损

基金资助：2020年装备发展部型谱项目（项目编号：2006WW0011）