晶圆重入加工的组合设备初始暂态建模和分析
来源：计算机集成制造系统杂志2015年第8期北京时间：
作者：潘春荣,伍乃骐
单位：1.江西理工大学机电工程学院2.广东工业大学机电工程学院
摘要：随着晶圆直径的增大以及小批量、多批次加工,生产过程频繁地在暂态和稳态之间切换。为了满足大晶圆的加工需求和提高组合设备的加工性能,研究具有重入的晶圆加工组合设备的初始暂态具有重要意义。此外,组合设备除机械手外没有缓冲,使系统的调度和控制变得更加困难。基于eM-Plant仿真平台和优化算法,对重入加工双臂组合设备的初始暂态进行建模和仿真,分析了重入加工的初始暂态至稳态的过渡过程。采用仿真例子验证了该仿真系统的有效性,为组合设备重入加工的优化控制提供了借鉴。
关键词：自动化组合设备,重入加工,建模与仿真,eM-Plant
基金资助：国家自然科学基金资助项目(71361014);江西省自然科学基金资助项目(20121512040080);江西省教育厅资助项目(GJJ13418)。
